MEMS-технологии STMicroelectronics
24 Мар 2017 МЭМС-технология (технология микроэлектромеханических систем) в общем виде может быть определена как система, содержащая миниатюрные механические и электромеханические элементы, которые производятся с использованием методов высокоточных микротехнологий. Физические размеры МЭМС-устройств могут варьироваться от одного микрона до нескольких миллиметров. Также МЭМС-устройства варьируются от относительно простых структур практически без движущихся ... (читать далее)